洁净厂房中的气体管道是指气体压力小于等于0.8MPa的氢气、氧气、氮气、压缩空气、燃气等一般气体和高纯气体管道及真空管道，高纯气体是指其气体纯度大于等于99.9995%，含水量小于5×10-4%的气体。高纯度、高洁净气体管道的施工不同于一般工业管道，稍有疏忽便可能破坏气体的质量。那么洁净车间高纯气体管道工程的安装与施工注意事项有哪些呢？

一、外观的检查工作

1)无裂纹、缩孔、折叠、重皮等缺陷。

2)无锈蚀、蚀斑等现象。

3)管子平直、圆滑，无局部凹陷，无刮伤、挤压等缺陷。

4)管材内表面的“粗糙度”是否符合设计要求，螺纹处密封、保护是否良好。

5)外购成品“内表面超光滑洁净管”要有出厂合格证及相关等级证书和资质证明。应随机抽样做显微镜下检验，必须符合设计要求。

6)检查成品“内表面超光滑洁净管”的外包装和相应管端头的管帽、堵头等密封措施是否符合要求。

7)法兰的密封面应当平整、光滑，不得有毛刺及径向沟槽，凹凸法兰应当能够自然嵌合，凸面的高度不得低于凹槽的深度。

二、配管的准备工作

1、无论多大压力、何种介质及何种用途的配管，下料时均不得采用氧、乙炔焰切割。无论是机械或手工下料，分段处不得涂抹油脂或使用润滑剂。

2、各种阀门应在安装前清洗，清洗前先应研磨、试压合格，然后拆成零部件，并在三氯乙烯或四氯化碳溶剂中浸泡1~1.5h。安全阀清洗后应当重新试压。

3、采用普通不锈钢管时，其表面若粘附有油污，安装后清洗十分困难，应当将原管放入清洗槽内清洗。管道内壁的酸洗工作，必须保证清除掉的锈蚀部分而不损害未锈蚀的表面。

4、氧气管路的阀门、附件等，应当严格禁油，并在安装前按有关要求严格脱脂。

三、金属管道的连接方式:

1)焊接。高纯、高洁净气体管道，原则上采用焊接，但不能直接对焊，应采用套管接头。

不锈钢管的焊接:采用氩弧焊，同时管内通入同等纯度的氩气，防止焊接部位氧化。

钢管的焊接:采用40%银焊条，氮气保护焊，管内通入工艺气体同等纯度的氮气。但要注意，一旦氮气中断或氮气纯度下降，会在焊口附近生成铜的氧化物，产生浸润表面的可能性。所以，当铜管焊接完毕后，要用浸渍丙酮的纱布来回擦拭管内，消除焊接处可能产生的氧化物。

2)螺纹连接。螺纹连接的气密性不如焊接的好，不适用于高纯、高洁净气体管路连接。螺纹连接使用的密封填料残渣有带入气体的危险，而且内外螺纹旋紧时，金属间的摩擦会产生金属粉尘粒子，污染气体。如确实必要，应在铜与铜、铜与铜合金附件螺纹连接时，在外螺纹上均匀地挂上一定量的焊条，提高密封效果，尽可能减少金属粉尘。

3)法兰连接。螺纹或法兰连接处的密封材料应采用聚四氯乙烯，为确保密封效果，在垫片上涂敷少量氟橡胶(白色、室温固化)。